CFI60 무한 광학 기술이 제공하는 선명한 Image와 Compact한 Design
L150과 L150A은 다른 동급의 Model 보다 크기가 작으며, 6inch Wafer 검사가
가능 합니다.
CFI60 무한광학으로 인하여 선명한 Image와 높은 Contrast 적은 Flare효과를
보여 줍니다.
특히, L150A는 자동화된 Nosepiece로 인해 Wafer의 오염이 적습니다.
Nikon의 유명한 CF Design과 무한광학이 결합되어진 CFI60 대물렌즈가 L150/L150A에
사용되어 졌습니다.
이 새로운 광학기술은 더욱 길어진 Working Distance와 높은 N.A값을 가집니다.
또한, 높은 Contrast와 적은 Flare효과를 보여주는데 이것은 Dark Field 관찰 시
이전에는 불가능 했던 밝은 시야와 Contrast를가능하게 하였습니다.
또한, Magnetic Head와 같은 얇은 Sample 관찰 시 길어진 대물렌즈 작업 거리는 무척
유용하게 쓰여 집니다.
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대물렌즈의 배율, 초점 위치, 개구 조리개, 조명의 밝기 등
관찰방법을 Programing 할 수 있으며, 지정한 File Name으로 저장할 수도
있습니다.
동일한 Sample 관찰 시 PC에 저장된 File Name을 입력하여, 전과 동일한
조건에서 Sample관찰이 가능합니다. |
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ESD Design은 Magnetic Head 같은 Sample에
생기는 피해를 막아주며 오염원이 현미경 몸체에 달라붙은 현상도 막아주어 현미경에 오염이
생기는 것을 방지합니다.
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L150 일반적인 Model |
두 개의 핀을 조절 |
모든 조절 손잡이의 위치는 사용자의 편리함을 위하여 Design 되었으며, Eye level
또한 Sample 관찰 시 사용자가 편리함을 느끼도록 Design 되었습니다.
Focus Mechanism은 대물렌즈가 Sample에 접촉되는 것을 막아 주도록 설계되어 Sample이나
대물렌즈가 손상되는 것을 방지해 줍니다.
컴퓨터로 Design한 Body는 진동에 의한 영향을 줄여, 고 배율에서의 진동으로 인한 Image의
변화를 막아줍니다.
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12V-100W Lamphouse가 제공하는 충분한 밝기를 갖는 반사조명은 Bright
Field, Dark Field, Nomarski DIC 관찰에 탁월한 성능을 발휘하며,
새로운 조리개 Mechanism은 Bright Field에서 Dark Field로 바꾸거나
그 반대 관찰 시 개구 조리개나 Filed 조리개의 수동조작을 제거 시켜 관찰을 더욱
능률적으로 할 수 있게 도와줍니다.
더욱 밝은 조명을 얻기 위해서는 Mercury나 Xenon Lamp Houses의 사용도
가능 합니다.
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자동 배율 변경 스위치 |
자동 Nosepiece |
L150A Model은 Sofrware에 의해 자동으로 각각의 대물렌즈 위치에 정확하게 오도록
제어되는 Nosepiece를 가지고 있어 매우 편리하며, 또한 Nosepiece 회전 시 조명이
일시적으로 어두워져 사용자의 눈을 보호하도록 제작 되었습니다. |
Upright Microscopes
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