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 하이소메토(DH2)의
광학계를 이용한Z축측정용유닛현미경
타겟상을 맞추는 것만으로, 측정점의 표면 상태를 관찰하면서, 높이, 깊이,
단차등의 측정을 할 수 있는 하이소메트의 광학계를 소형·경량화를 도모하여, 코스트퍼먼스에 뛰어난
장치넣기용현미경유닛으로써 새롭게 개발했습니다. 이것에 의해 각종 생산설비, 실험, 연구장치와
상품의 검사·평가용넣기유닛으로서 더욱 광범위하게 상용하는 것이 가능해졌습니다.
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이 현미경 시스템은 인덱스 계수선과 현미경 조명 광학의 시스템을 반영하는
프리즘의 구성으로 정확한 focus indicator를 제공합니다. 위와 아래 이등분이 일치하는
초점 상태에서, 초점을 맞춘 견본 이미지 위에 정확히 관찰되어질 수 있고, 약간 초점에서 빗나갔을
때 인덱스 라인은 계수선의 위와 아래 이등분 선에서 두개의 라인들로 쪼개지는 광학의 원칙에 기초를
두며 설계되어 왔습니다. 정확한 초점 포인트는 한 견본 표면의 이미지가 흐리게 되든 않든간에 판단을
하기 보다는 계수선의 위쪽 아래쪽 이등분선 안에 수직의 인덱스 라인이 정확히 양쪽 직선과 일치한다는
것을 확인함으로써 획득됩니다.
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- 한 초점의 포인트가 비접촉 단차광학 방법아래 간파되기 때문에
측정은 한 견본에 뒤틀 림, 강타 또는 깨진곳과 같은 물리적 손실에 영향을 받지 않으면서 이루어질
수 있습니 다.(다이어그램 1을 참조하시오.)
- 쪼개진 타겟 방법에 기초를 둔 정확한 초점 지시기가 채택되어져 왔기 때문에 아주 정확
한 깊이 측정들이 계수선의 두 이등분선과 일치함으로써 단순히 취해질 수 있습니다.
- 작동이 매우 간단하고 다양하게 적용하기에 가장 적절한 측정 현미경 시스템이다.
- 한 포인트의 미세한 표면 조건을 관찰하는 동안 측정할곳의 레퍼런스 포인트와 측정의 한
포인트 사이의 위치적 관계가 확인되어질 수 있습니다. 그리고 측정이 같은 영역의 관점 에서
또한 취해질 수 있습니다.(다이어그램 2를 참조하시오.)
- 측정 정확도는 높은 확대 대물렌즈의 사용을 통해 향상되어질 수 있습니다.(다이어그램
3 을 참조하시오.)
- 검정 줄무늬 또는 하얀 줄무늬 타겟 마크는 견본 표면의 한 조건당 선택되어질 수 있습니
다. 세 종류의 타겟 마크 상태(검정 주무늬, 하얀 줄무늬, 그리고 아무것도 없음)가 레버
에 의해 선택되어질 수 있기 때문에 사진은 필요하다면 타겟 마크없이 찍을 수 있습니다.
- 다양한 모델은 각각의 사용자들의 적용에 의존한 미리 보기, 측정 영역, 그리고 다른
선 택적 아이템들과 같은 다른 장비와의 혼합 적용에 의해서 형성되어질 수 있습니다.
- DH2의 광학적 시스템을 합병함으로써 IMH(신상품)는 예외적으로 생산 라인 또는 장비로
통합되게 설계된, 최대한 가격 효율성을 가진, 더 작고 더 가벼운 현미경 단위로써 발전 되었습니다.
- 높은 정확성, 비접촉 단차 측정과 노마스키 DIC(차별적인 간섭 대조)관찰 방법은 이
현미 경 시스템(DH2N)의 또 다른 비젼에 의해서 유용합니다.(다이어그램 4를 참조하시오.)
- 투과성의 미러 또는 페어스킨이 레이저 시스템과 함께 표면 끝부분을 관찰하는 경우에,
초점이 흐트러지기 쉽습니다. 타겟 마크가 광학시스템의 경우에 그러한 표면에 투영되어 지는
동안에 그러한 견본 표면들의 층이 측정되어질 수 있습니다
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DH2 |
IMH |
Microscope Stand &
Bracket |
Travel |
Coarse Adjustable |
140㎜ |
- |
| Fine Adjustable |
25㎜ |
25㎜ |
| Height of specimen |
150㎜(Max.) using 505S
stage |
- |
| Illuminator |
Reflecting |
Illumination with Index Graticule Tungsten
Lump(8V, 15W) |
Illumination with Index Graticule Halogen Lump(15V,150W) |
| Transmitted |
Telecentric Illumination Halogen Lump (6V,
20W) |
- |
| Z-axis measuring |
1㎛ Reading, 25㎜ Travel(ID-F125) 1㎜ Reading,
10㎜ Travel(LGB-110S) 0.1㎛ Reading,10㎛ Travel(LGF-0110L) |
1㎛ Reading, 25㎜ Travel(ID-F125) 1㎛ Reading,
10㎜ Travel(LGF-0110L) |
| Z-axis measuring Accuracy |
3σ=1㎛(using 40X Objective) |
3σ=1㎛(using 40X Objective) |
Viewing Head |
Erected Binocular |
Monocular with TV C-mount Tube |
Observation is only for CCD camera |
| Erected Trinocular |
Binoculal with TV C-mount Tube |
Objective |
PLM10X |
N.A. 0.20, W.D 12.0 ㎜ |
Eyepiece NWF 10X |
NWF10X |
Field Number ∮16㎜ with Offset Hair Line Crossed Reticle |
- |
Measuring Stage |
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505S(*1) |
505L |
510 |
510D |
100D(*1) |
| Space for Specimens |
∮118㎜ |
∮170㎜ |
280X190㎜ |
280X190㎜ |
∮206㎜ |
| Size of Stage Glass |
∮100㎜ |
∮100㎜ |
170X120㎜ |
170X120㎜ |
∮179㎜ |
| Travel(X-Y) |
50X50㎜ |
50X50㎜ |
100X50㎜ |
100X50㎜ (with Linear Scale) |
100X100㎜ (with Linear Scale) |
| Measuring Accuracy |
X: (4+0.02L)㎛, Y: (4+0.02L)㎛, L: Travel Distance(㎜) |
| Rotation Angle |
360° |
360° |
-(*2) |
-(*2) |
360° |
| Stage Size |
150X150X45㎜ |
205X205X95㎜ |
285X205X95㎜ |
285X205X95㎜ |
244X244X83㎜ |
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Hisomet(DH2/IMH)은 반도체, MEMS, 매그네틱
헤드, 전자성분, 정밀부분과 같은 다양한 산업분야에서 그것의 정확한 측정을 사용자들에 의해서
높이 평가받아 왔습니다.
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DH2/IMH는 다음의 대물렌즈와 함께 사용되어질 수 있습니다.
<Plan Objectives (PLM 시리즈)>
뒤틀어진 분야 안에서 탈선이 수정되어지는 대물렌즈입니다.
초점은 어떤 주어진 위치 위에서 맞춰질수 있습니다.
<Long Working Distance Objective(PLLWDM 시리즈)>
PLM 시리즈의 long distance 버전. 고배율의 관찰은 이 타입의 대물렌즈와 함께 용이하게
작업을 할수 있습니다.
<Plan Apochromat Objectives(SPLM 시리즈)>
이 대물렌즈는 Plan Objectives와 Apochromat Objective 양쪽의 강점들을
가지고 있습니다.
<Glass Corrected Objective(PLLWDC 시리즈)>
이 는 유리 아래 시료를 관찰하기 위해서 사용되어집니다. (LCD 회로기판 등등)
유리 두께에 의해서 조정할 수 있습니다.
PLLWDC20X는 글래스 0-2.5mm 두께에 적용할 수 있습니다.
PLLWDC40X는 글래스 0-2.0mm 두께에 적용할 수 있습니다.
| Item |
N.A |
W.D(mm) |
| Afocal Corrected Dbjective |
| Plan Objective(∞) |
PLM3X |
0.075 |
8.5 |
| PLM5X |
0.10 |
19.0 |
| PLM10X |
0.20 |
12.0 |
| PLM20X |
0.40 |
2.7 |
| PLM40X |
0.35 |
0.90 |
| PLM100(Dry) |
0.90 |
0.28 |
| Long
Working Distance Objective(∞) |
PLLM3X |
0.075 |
29.5 |
| PLLWDM10X |
0.20 |
24.3 |
| PLLWDM20X |
0.40 |
11.2 |
| PLLWDM40X |
0.50 |
10.0 |
| PLLWDM100X |
0.73 |
5.0 |
| Plan Apochromat Objective(∞) |
SPLM5X |
0.12 |
9.0 |
| SPLM10X |
0.25 |
9.5 |
| SPLM20X |
0.40 |
2.9 |
| SPLM50X |
0.75 |
1.5 |
| SPLM100X |
0.90 |
1.0 |
| SPLM50X |
0.95 |
0.2 |
| SPLM250X |
0.95 |
0.3 |
| 0Special Objective |
| Glass Corrected Objective |
PLLWDCM20X |
0.40 |
11.2 |
| PLLWDCM40X |
0.50 |
10.0 |
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DH2/IMH는 자동 포커싱 단위로 구비되어질 수 있습니다. 그리고
인간 기술에 대한 의존을 감소시키고 객관적인 측정을 가능하게 합니다.
작동기 사이에서는 어떤 불일치도 일어나지 않습니다. 높은 정확함과 반복적인 측정이 가능합나다.
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ID-F125
ID-F125는 저렴한 가격의 Z axis
표시기입니다.
만약 허용한계 범위안에서 획득된 가치가 떨어진다면 판단이
가능합니다.
허용한계 범위안에서 적절한 값이 나오지 않을 경우에,
LCD스크린의 검은 빛이 빨갛게 바뀔것입니다.
ID-F125는 ABS(절대적
시스템)를 사용합니다. 파워스위치가 ON 으로 바뀌는 시점에서 자동적으로 결정되어집니다.
최소 측정 단위:1um
LGF-0110L/EF-11PRH
최소 측정 단위는 0.1um 입니다.
RS232C 출력 단말기와 함께 나옵니다.
카운터의 크기는 144 X172cm(DIN 크기) 입니다. 장비/시스템으로
쉽게 통합되어질 수 있습니다.
LGB-110S/KC-13R
KC-13R은 RS232C 출력 단말기와 같이 3축 (XYZ) 카운터입니다.
세상에서 가장 작은 사진 검파기를 사용합니다. 굉장히 정확한 측정이 행해질
수 있습니 다.
쉬운 작동, 다양한 기능들.
최소 측정 단위:1um |
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AT-112/KC-12R
- KC-12R은 RS232C 데이터 출력 단말기와 함께 X/Y 축 카운터입니다.
리니어 게이지 AT-112와 함께 Stage에서 같이 사용됩니다. (510D/100D/150D/200D)
- 높은 정확도. 간단한 작동.
- 최소 측정 단위:1um
디지털 카운터 단위:DM50-21R/DM50-22R
- 각각의 단위는 Digital Micro Heads(2pcs for X&Y)와 두개의
축 디지털 카운터로 구성됩니다. RS-232C 데이터 출력
단말기와 함께 나옵니다.
- DM50-21R: 1um reading, 50mm X50mm travel.
- DM50-22R: 0.2um reading, 50mmX50mm travel.
- 최소 측정 단위:1um
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No.9373281/Control Unit
- 이것은 프린터와 함께 사용을 합니다.
카운터의 리세팅을
포함하는 작동들, 프린터 명령의 전송, 샘플 번호의 변화 등등은 이 조절 단위와 함께 행해질 수
있습니다.
No. 965004/Foot Switch
- 프린터와 다른 외부 장비의 스위치를 켜고 끄는 것을 위해 사용되어집니다.
DPU-414/Printer
- 카운터 위에 지시된 X/Y 위치를 프린트 합니다. (Foot Switch는 이 프린터의 작동을
위 해 요구됩니다.)
DP-1VR/Printer
- 측정 결과의 프린팅과 행해지는 다양한 계산들을 위해서 설계되었습니다.
측정 데이터로부터 프린팅 뿐만아니라 복잡한 통계적 계산, 히스토그램,
D-챠트 그림 등등 을 포함해서 다양한
타입의 진보된 기능들을 가지고 있습니다.
- RS232C 출력 단말기와 함께 나옵니다.
- 높은 속도. 낮은 소음.
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Stages
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Zoom Microscope ( 
